[实用新型]一种SiC沉积固定装置

摘要

本实用新型公开了一种SiC沉积固定装置，包括圆形托盘，圆形托盘中间设置通孔部，圆形托盘的一侧端面上设置有内径大于所述通孔部的转盘轴承，转盘轴承的外圆周上设置有外齿部，转盘轴承的外圆周设置有一驱动齿轮、一锁定机构以及至少三个从动轮，所述从动轮与设置在圆形托盘中的第一锥齿轮同轴固定，圆形托盘中还设置有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述的圆形托盘中设置有沿通孔部径向布置的通道部，所述通道部中设置有用于沿通孔部轴向径向伸出的锁定杆，所述的第二锥齿轮设置在所述的通道部中且与锁定杆采用螺母螺杆传动结构驱动所述的锁定杆沿通道部移动。本实用新型的SiC沉积固定装置可实现对心以及固定，操作简单且方便。

主权项

1.一种SiC沉积固定装置，其特征在于，包括圆形托盘(1)，圆形托盘(1)中间设置有沿圆形托盘(1)轴向的用于放置产品(5)的通孔部，圆形托盘(1)的一侧端面上设置有内径大于所述通孔部的转盘轴承(2)，转盘轴承(2)的外圆周上设置有外齿部，转盘轴承(2)的外圆周设置有一与外齿部啮合的驱动齿轮(4)、一锁定所述外齿部的锁定机构(6)以及至少三个与外齿部啮合的从动轮(3)，所述从动轮(3)与设置在圆形托盘(1)中的第一锥齿轮(11)同轴固定，圆形托盘(1)中还设置有与第一锥齿轮(11)啮合的第二锥齿轮(8)，所述的圆形托盘(1)中设置有沿通孔部径向布置的通道部(10)，所述通道部(10)中设置有用于沿通孔部轴向径向伸出的锁定杆(9)，所述的第二锥齿轮(8)设置在所述的通道部(10)中且与锁定杆(9)采用螺母螺杆传动结构驱动所述的锁定杆(9)沿通道部(10)移动。