[实用新型]带定位台的压力传感器弹性体有效
申请号: | 201721344015.5 | 申请日: | 2017-10-17 |
公开(公告)号: | CN207263343U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 雷卫武 | 申请(专利权)人: | 北京中航兴盛测控技术有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带定位台的压力传感器弹性体,其特征在于包括金属材料制造的圆柱形钢杯,所述钢杯下端加工有压力腔。所述钢杯上端加工有应变体,所述应变体外周加工有凸台,所述凸台的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台。将常规的圆形弹性体增加定位台,设计吻合好有定位台的弹性体光刻夹具,这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺,实现批量生产,极大地提高生产效率,降低生产成本,使得具有优良性能的薄膜压力传感器在更多领域得到应用。 | ||
搜索关键词: | 定位 压力传感器 弹性体 | ||
【主权项】:
一种带定位台的压力传感器弹性体,其特征在于:包括金属材料制造的圆柱形钢杯(1),所述钢杯(1)下端加工有压力腔(2);所述钢杯(1)上端加工有应变体(3),所述应变体(3)外周加工有凸台(4),所述凸台(4)的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台(5)。
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