[实用新型]带定位台的压力传感器弹性体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种压力传感器弹性体，尤其涉及一种方便光刻工艺定位的带定位台的压力传感器弹性体。

背景技术

溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好以及测量介质温度高等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药等许多领域得到应用。

但溅射薄膜压力传感器的敏感芯体(敏感芯体是由弹性体经研磨抛光、镀膜、光刻等工艺制造出来的)制造工艺繁杂，且生产效率不高，其中最困难的一个工艺是弹性体的光刻工艺，主要表现在进行光刻工艺时，由于图形需要进行二次光刻，这就存在套刻的问题。常规的弹性体是圆柱体，在进行二次套刻工艺时无法定位，只能一次光刻一只产品，生产效率极低。

因此，开发一种方便光刻工艺定位的带定位台的压力传感器弹性体极其重要。

在不影响弹性体任何性能的前提下，将常规的圆形弹性体增加定位台，设计吻合好有定位台的弹性体光刻夹具，这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺，极大地提高生产效率，解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带定位台的压力传感器弹性体，针对现有技术的不足，实现压力传感器弹性体二次套刻工艺可以批量进行、生产效率大大提高的目的。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案是：一种带定位台的压力传感器弹性体，其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形钢杯，所述钢杯下端加工有压力腔。所述钢杯上端加工有应变体，所述应变体外周加工有凸台，所述凸台的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为：在不影响弹性体任何性能的前提下，将常规的圆形弹性体增加定位台，设计吻合好有定位台的弹性体光刻夹具，这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺，实现批量生产，极大地提高生产效率，降低生产成本，使得具有优良性能的薄膜压力传感器在更多领域得到应用。

附图说明

图1为本实用新型的带定位台的压力传感器弹性体的立体图。

图2为本实用新型的带定位台的压力传感器弹性体的剖面示意图。

图中：1、钢杯，2、压力腔，3、应变体，4、凸台，5、定位台

具体实施方式

如图1、2所示，一种带定位台的压力传感器弹性体，包括金属材料制造的圆柱形钢杯1，所述钢杯1下端加工有压力腔2。所述钢杯1上端加工有应变体3。当压力作用在压力腔2时，所述应变体3会发生形变，通过镀膜光刻等工艺制造在所述应变体3上的惠斯通电桥(图中未示出)产生与所受压力成比例的电信号。

所述应变体3外周加工有凸台4，在所述凸台4的任一位置加工不影响弹性体任何性能的定位台5，所述定位台5在进行光刻时可以很好地进行定位。将数十个甚至数百个带所述定位台5的弹性体放入设计有吻合弹性体定位台的光刻夹具中，这样就可以进行批量套刻工艺，极大地提高生产效率，降低生产成本。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施方式，不应被视为对本实用新型范围的限制，而且本实用新型所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本实用新型所披露的技术内容，可轻易思及的等效变化，均应落入本实用新型的保护范围内。