[实用新型]一种半导体生产线的节能装置有效

专利信息
申请号: 201721272262.9 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN207624666U 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 张俊杰 申请(专利权)人: 上海图双精密装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 倪钜芳
地址: 201799 上海市青浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种半导体生产线的节能装置,包括箱体和活动箱16,所述箱体的左侧贯穿有进气管,进气管的左端固定安装有冷风外机,所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤网,且箱体内壁的两侧之间位于过滤网的右侧固定连接有消毒网,所述吸板的右侧连通有加热管,所述水箱的底部贯穿有竖管,所述竖管的底端位于水箱外部一端贯穿箱体且延伸至箱体的内部,所述竖管延伸至箱体内部的一端与箱体内壁的底部固定连接,本实用新型涉及半导体生产节能设备技术领域。该半导体生产线的节能装置,冷却后的气体可以对需要的地方进行降温,同时可以用作压缩对装置进行除尘以及其他用途。使用十分方便,装置结构简单,实用性强。
搜索关键词: 半导体生产线 节能装置 箱体内壁 竖管 本实用新型 过滤网 进气管 水箱 贯穿 半导体生产 节能设备 箱体内部 装置结构 活动箱 消毒网 除尘 延伸 冷风 底端 热管 外机 吸板 左端 连通 冷却 压缩 外部
【主权项】:
1.一种半导体生产线的节能装置,包括箱体(1)和活动箱(16),其特征在于:所述箱体(1)的左侧贯穿有进气管(2),所述进气管(2)的左端固定安装有冷风外机(3),所述箱体(1)内壁的两侧之间固定连接有过滤网(4),且箱体(1)内壁的两侧之间位于过滤网(4)的右侧固定连接有消毒网(5),所述箱体(1)内壁的两侧之间位于消毒网(5)的右侧固定连接有吸板(6),所述吸板(6)的右侧连通有加热管(7),所述箱体(1)的顶部固定连接有水箱(9),所述水箱(9)的底部贯穿有竖管(8),所述竖管(8)的底端位于水箱(9)外部一端贯穿箱体(1)且延伸至箱体(1)的内部,所述竖管(8)延伸至箱体(1)内部的一端与箱体(1)内壁的底部固定连接。
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