[实用新型]一种半导体生产线的节能装置有效
申请号: | 201721272262.9 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207624666U | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 张俊杰 | 申请(专利权)人: | 上海图双精密装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 倪钜芳 |
地址: | 201799 上海市青浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体生产线的节能装置,包括箱体和活动箱16,所述箱体的左侧贯穿有进气管,进气管的左端固定安装有冷风外机,所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤网,且箱体内壁的两侧之间位于过滤网的右侧固定连接有消毒网,所述吸板的右侧连通有加热管,所述水箱的底部贯穿有竖管,所述竖管的底端位于水箱外部一端贯穿箱体且延伸至箱体的内部,所述竖管延伸至箱体内部的一端与箱体内壁的底部固定连接,本实用新型涉及半导体生产节能设备技术领域。该半导体生产线的节能装置,冷却后的气体可以对需要的地方进行降温,同时可以用作压缩对装置进行除尘以及其他用途。使用十分方便,装置结构简单,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 半导体生产线 节能装置 箱体内壁 竖管 本实用新型 过滤网 进气管 水箱 贯穿 半导体生产 节能设备 箱体内部 装置结构 活动箱 消毒网 除尘 延伸 冷风 底端 热管 外机 吸板 左端 连通 冷却 压缩 外部 | ||
【主权项】:
1.一种半导体生产线的节能装置,包括箱体(1)和活动箱(16),其特征在于:所述箱体(1)的左侧贯穿有进气管(2),所述进气管(2)的左端固定安装有冷风外机(3),所述箱体(1)内壁的两侧之间固定连接有过滤网(4),且箱体(1)内壁的两侧之间位于过滤网(4)的右侧固定连接有消毒网(5),所述箱体(1)内壁的两侧之间位于消毒网(5)的右侧固定连接有吸板(6),所述吸板(6)的右侧连通有加热管(7),所述箱体(1)的顶部固定连接有水箱(9),所述水箱(9)的底部贯穿有竖管(8),所述竖管(8)的底端位于水箱(9)外部一端贯穿箱体(1)且延伸至箱体(1)的内部,所述竖管(8)延伸至箱体(1)内部的一端与箱体(1)内壁的底部固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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