[实用新型]一种多尺寸通用石英舟有效
| 申请号： | 201721271131.9 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN207418918U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 沙彦文;董长海;柯小龙;周小渊;陈锋;苏波 | 申请（专利权）人： | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/673 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人： | 马长增;姚源 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种多尺寸通用石英舟由侧板支架和硅片托架板组成；所述的侧板支架设有地板和立板，底板与立板垂直设置，立板上均匀布设多组安装孔和泄压孔；所述硅片托架板的两端分别设置有与安装孔配合安装的安装卡头，板面上均匀设置有硅片卡槽；所述侧板支架两个一组固定平行布设，硅片托架板分组布设安装在两个侧板支架之间；有益效果在于：兼容性好，可以同时摆放多种规格硅片，不同尺寸硅片可以统一放置，可节约时间，提高了生产效率，而且减少了石英舟使用次数，降低了能耗；侧板支架和硅片托架板可拆卸，单个部件断裂可以单独更换继续使用，降低了损耗，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 侧板支架 托架板 石英舟 立板 布设 安装孔 底板 垂直设置 单独更换 单个部件 硅片卡槽 均匀设置 配合安装 平行布设 生产效率 安装卡 兼容性 可拆卸 泄压孔 通用 断裂 能耗 地板 摆放 分组 节约 统一 | ||
【主权项】：
1.一种多尺寸通用石英舟，由侧板支架和硅片托架板组成，其特征在于：所述的侧板支架设有地板和立板，底板与立板垂直设置，立板上均匀布设多组安装孔和泄压孔；所述硅片托架板的两端分别设置有与安装孔配合安装的安装卡头，板面上均匀设置有硅片卡槽；所述侧板支架两个一组固定平行布设，硅片托架板分组布设安装在两个侧板支架之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏中晶半导体材料有限公司，未经宁夏中晶半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721271131.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
