[实用新型]一种多尺寸通用石英舟有效
| 申请号： | 201721271131.9 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN207418918U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 沙彦文;董长海;柯小龙;周小渊;陈锋;苏波 | 申请（专利权）人： | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/673 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人： | 马长增;姚源 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 侧板支架 托架板 石英舟 立板 布设 安装孔 底板 垂直设置 单独更换 单个部件 硅片卡槽 均匀设置 配合安装 平行布设 生产效率 安装卡 兼容性 可拆卸 泄压孔 通用 断裂 能耗 地板 摆放 分组 节约 统一 | ||
【权利要求书】：
1.一种多尺寸通用石英舟，由侧板支架和硅片托架板组成，其特征在于：所述的侧板支架设有地板和立板，底板与立板垂直设置，立板上均匀布设多组安装孔和泄压孔；所述硅片托架板的两端分别设置有与安装孔配合安装的安装卡头，板面上均匀设置有硅片卡槽；所述侧板支架两个一组固定平行布设，硅片托架板分组布设安装在两个侧板支架之间。
2.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述的硅片托架板分两组对称设置安装在两个侧板支架之间。
3.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述硅片托架板的截面呈矩形结构，沿长度两端分别设置安装卡头；沿矩形平面均匀设置硅片卡槽。
4.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述硅片托架板上的硅片卡槽安装面朝上设置，向内侧倾斜45°。
5.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述硅片托架板上的硅片卡槽规格可以是八英寸或六英寸或三英寸。
6.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述侧板支架上的安装孔和泄压孔为矩形或圆形或三角形。
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