[实用新型]一种高吸留极限的低温泵有效
| 申请号： | 201721241662.3 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207847882U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 武义锋;邓家良;冯苌春;曾环;王少恒;张海峰;俞杰;孙志和 | 申请（专利权）人： | 安徽万瑞冷电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B39/00;F04B39/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本实用新型提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。 | ||
| 搜索关键词： | 二级冷却 低温板 低温泵 制冷机 冷屏 冷头 本实用新型 低温冷源 一级冷却 吸气口 壳体 台热 辐射 进气口 活动安装 进气方向 同轴配置 真空腔室 轴向正交 冷凝 吸附 体内 包围 | ||
【主权项】：
1.一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，其特征在于，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。
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