[实用新型]一种高吸留极限的低温泵

说明书

本实用新型公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本实用新型提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。

技术领域

本实用新型属于低温制冷技术领域，具体涉及一种具有较高吸附和冷凝极限的低温泵。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

日常使用状态下，低温泵安装于真空处理装置的真空腔室中。由于低温泵采用冷头吸附，工作一段时间后，冷头上的低温板被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用，整个低温泵即达到了气吸附的极限。

分析和测试结果均表明，决定低温泵中低温板的冷凝和吸附效果的主要因素在于：相对于该低温板的气体入口的开口面积、气体入口与低温板之间的距离和角度位置等。在气体入口的开口面积相对受限的条件下，对于低温泵内腔深处的低温板，由于其远离吸气口，其气体的吸附、冷凝效果较差，进而影响了整个低温泵的吸附极限。

实用新型内容

本实用新型针对现有的技术问题作出改进，即实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有较高吸附极限的低温泵。

本实用新型提供的大容量低温泵的技术方案如下：

一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。

进一步，所述高吸留极限的低温泵还包括与所述冷头同轴配置的第一磁驱动盘、第二磁驱动盘，以及驱动所述第一磁驱动盘旋转的驱动装置，所述第一磁驱动盘配置于所述壳体左侧面的左方，所述第二磁驱动盘与低温板组件固定连接，所述第一磁驱动盘和第二磁驱动盘相向的表面上设有磁块，每个布置有磁块的磁驱动盘侧面配置成：磁块至少为两个，位于靠近磁驱动盘边缘处且沿周向等间距布置，每个磁块的N-S磁极连线方向垂直于所述磁驱动盘，相邻磁块的N-S磁极连线方向相反，所述第一磁驱动盘和第二磁驱动盘之间所覆盖的壳体、辐射冷屏区域的材料为非导磁材料，通过第一磁驱动盘和第二磁驱动盘之间磁块的磁力作用，所述第一磁驱动盘的旋转运动带动所述第二磁驱动盘旋转运动。

进一步，所述辐射冷屏均为呈两端带盖板且与所述冷头同轴的圆筒状，所述辐射冷屏活动安装于一级冷却台上并可绕一级冷却台旋转，所述高吸留极限的低温泵还包括与所述冷头同轴配置的第一磁驱动盘、第二磁驱动盘，以及驱动所述第一磁驱动盘旋转的驱动装置，所述第一磁驱动盘配置于所述壳体左侧面的左方，所述第二磁驱动盘与低温板组件固定连接，所述第一磁驱动盘和第二磁驱动盘相向的表面上设有磁块，所述辐射冷屏的的左盖板为嵌入安装有磁块的第三磁驱动盘，每个布置有磁块的磁驱动盘配置成：磁块至少为两个，位于靠近磁驱动盘边缘处且沿周向等间距布置，每个磁块的N-S磁极连线方向垂直于所述磁驱动盘，相邻磁块的N-S磁极连线方向相反，所述第一磁驱动盘和第三磁驱动盘之间所覆盖的壳体的材料为非导磁材料，通过第一磁驱动盘和第三磁驱动盘之间磁块的磁力作用，所述第一磁驱动盘的旋转运动带动所述第三磁驱动盘旋转运动，通过第三磁驱动盘和第二磁驱动盘之间磁块的磁力作用，所述第三磁驱动盘的旋转运动带动所述第二磁驱动盘旋转运动。