[实用新型]一种低温泵有效
| 申请号： | 201721241393.0 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207377758U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 武义锋;邓家良;冯苌春;曾环;王少恒;张海峰;俞杰;孙志和 | 申请（专利权）人： | 安徽万瑞冷电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/10 | 分类号： | F04B37/10;F04B39/06;F04B39/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括通过管道连接的冷头和压缩机，所述冷头包括依次连接的二级冷却台、一级冷却台和冷头基座，所述辐射冷屏固定安装于一级冷却台上并与其热连接，所述低温板组件固定安装于二级冷却台上并与其热连接，所述低温泵的壳体呈带主轴的筒形，其筒侧面设有低温泵吸气口，所述冷头基座活动安装于所述壳体上并可绕低温泵主轴相对于所述壳体旋转运动。本实用新型通过对低温板组件和辐射冷屏进行了旋转式设计，提高了低温泵吸附和冷凝的极限和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温泵 | ||
【主权项】：
1.一种低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括通过管道连接的冷头和压缩机，所述冷头包括依次连接的二级冷却台、一级冷却台和冷头基座，所述辐射冷屏固定安装于一级冷却台上并与其热连接，所述低温板组件固定安装于二级冷却台上并与其热连接，其特征在于，所述低温泵的壳体呈带主轴的筒形，其筒侧面设有低温泵吸气口，所述冷头基座活动安装于所述壳体上并可绕壳体主轴旋转运动。
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