[实用新型]一种低温泵

权利要求书

1.一种低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括通过管道连接的冷头和压缩机，所述冷头包括依次连接的二级冷却台、一级冷却台和冷头基座，所述辐射冷屏固定安装于一级冷却台上并与其热连接，所述低温板组件固定安装于二级冷却台上并与其热连接，其特征在于，所述低温泵的壳体呈带主轴的筒形，其筒侧面设有低温泵吸气口，所述冷头基座活动安装于所述壳体上并可绕壳体主轴旋转运动。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述冷头基座上套装有磁流体密封装置，所述壳体的两端设有盖板，其中一端的盖板的中心轴处设有第三通孔，所述磁流体密封装置穿过该通孔并与所述壳体盖板密封连接，

所述低温泵还包括驱动装置，其驱动所述冷头基座绕壳体主轴旋转运动。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，所述低温板组件包括套装于所述二级冷却台上的低温圆筒和安装于该低温圆筒外表面上的低温叶片，所述低温叶片为多个且沿该低温圆筒的周向和长度方向间隙布置。

4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，所述低温叶片翼型骨线的切线与所述低温圆筒圆周方向夹角设置为：所述低温叶片绕壳体主轴旋转运动时，推动气体产生轴向流动，

所述低温板组件还包括位于所述低温圆筒端部的与壳体主轴垂直的圆形低温板，其吸附和冷凝来自低温叶片旋转所推动的轴向运动的气体。

5.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，所述低温叶片为平板形状。

6.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，所述低温板组件包括多个位于二级冷却台外周的与壳体主轴同轴、且相互间留有间隙的低温圆筒。

7.根据权利要求6所述的低温泵，其特征在于，所述低温圆筒上设有第二通孔。

8.根据权利要求7所述的低温泵，其特征在于，所述低温圆筒在其两端具有圆锥台侧面。

9.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，所述辐射冷屏为两端带有盖板的圆筒状，其筒侧面设有第一通孔。