[实用新型]一种专用于半导体晶圆运送的推车有效

专利信息
申请号: 201721238328.2 申请日: 2017-09-26
公开(公告)号: CN207637764U 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 朱军;龚胜利;屈军亮 申请(专利权)人: 合肥新汇成微电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种专用于半导体晶圆运送的推车,包括牵引车和拖车,且在牵引车的上表面设有多个固定槽,所述牵引车的左侧面设有拉手,同时在牵引车的右侧面设有卡槽,且在卡槽上设有对穿的圆孔,所述拖车的左侧面设有卡舌,且所述卡舌伸进插槽内,并通过插销将牵引车和拖车连接在一起,另外在拖车的下方设有定向轮,且在定向轮的上方设有固定板,同时在固定板和定向轮之间连接有弹簧,由于在牵引车和拖车上均设有固定槽,从而使得半导体晶圆可以固定,另外牵引车和拖车通过插销固定从而使得牵引车可以一次性带动多个拖车,从而实现了半导体晶圆的运送,当卸下拖车时,牵引车也可以推着走,进而实现了一车多用的功能,进而值得推广。
搜索关键词: 牵引车 半导体晶圆 定向轮 插销 固定板 固定槽 左侧面 运送 卡槽 卡舌 推车 本实用新型 一车多用 上表面 一次性 右侧面 插槽 弹簧 对穿 伸进 圆孔 卸下 拉手
【主权项】:
1.一种专用于半导体晶圆运送的推车,包括牵引车(3)和拖车(5),其特征在于:所述牵引车(3)的左侧面设有拉手(1),在牵引车(3)的右侧面设有卡槽(6),且在牵引车(3)的下底面设有四个万向轮(8),所述牵引车(3)的上表面设有多个固定槽(2);所述拖车(5)的左侧面设有卡舌(9),同时卡舌(9)和卡槽(6)上均设有圆孔(7),所述卡舌(9)伸进卡槽(6)的内部,且在卡槽(6)和卡舌(9)的连接处设有插销(4),所述拖车(5)的下底面设有四个连接板(18),且在连接板(18)的下方设有两个螺钉(17),所述连接板(18)通过螺钉(17)固定在拖车(5)的下表面上;所述牵引车(3)和拖车(5)的上方均设有防护棚(13),且所述防护棚(13)的左右两个侧面上对称设置有拉环(14),所述牵引车(3)和拖车(5)上表面的四个拐角处设有固定孔(12)。
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