[实用新型]一种专用于半导体晶圆运送的推车有效
申请号: | 201721238328.2 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN207637764U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 朱军;龚胜利;屈军亮 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种专用于半导体晶圆运送的推车,包括牵引车和拖车,且在牵引车的上表面设有多个固定槽,所述牵引车的左侧面设有拉手,同时在牵引车的右侧面设有卡槽,且在卡槽上设有对穿的圆孔,所述拖车的左侧面设有卡舌,且所述卡舌伸进插槽内,并通过插销将牵引车和拖车连接在一起,另外在拖车的下方设有定向轮,且在定向轮的上方设有固定板,同时在固定板和定向轮之间连接有弹簧,由于在牵引车和拖车上均设有固定槽,从而使得半导体晶圆可以固定,另外牵引车和拖车通过插销固定从而使得牵引车可以一次性带动多个拖车,从而实现了半导体晶圆的运送,当卸下拖车时,牵引车也可以推着走,进而实现了一车多用的功能,进而值得推广。 | ||
搜索关键词: | 牵引车 半导体晶圆 定向轮 插销 固定板 固定槽 左侧面 运送 卡槽 卡舌 推车 本实用新型 一车多用 上表面 一次性 右侧面 插槽 弹簧 对穿 伸进 圆孔 卸下 拉手 | ||
【主权项】:
1.一种专用于半导体晶圆运送的推车,包括牵引车(3)和拖车(5),其特征在于:所述牵引车(3)的左侧面设有拉手(1),在牵引车(3)的右侧面设有卡槽(6),且在牵引车(3)的下底面设有四个万向轮(8),所述牵引车(3)的上表面设有多个固定槽(2);所述拖车(5)的左侧面设有卡舌(9),同时卡舌(9)和卡槽(6)上均设有圆孔(7),所述卡舌(9)伸进卡槽(6)的内部,且在卡槽(6)和卡舌(9)的连接处设有插销(4),所述拖车(5)的下底面设有四个连接板(18),且在连接板(18)的下方设有两个螺钉(17),所述连接板(18)通过螺钉(17)固定在拖车(5)的下表面上;所述牵引车(3)和拖车(5)的上方均设有防护棚(13),且所述防护棚(13)的左右两个侧面上对称设置有拉环(14),所述牵引车(3)和拖车(5)上表面的四个拐角处设有固定孔(12)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥新汇成微电子有限公司,未经合肥新汇成微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721238328.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种自动圆形硅片倒片机
- 下一篇:一种焊带移送机构
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造