[实用新型]一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉

摘要

本实用新型公开了一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉，包括氯化氢合成炉，所述氯化氢合成炉包括合成炉体，所述合成炉体的外侧设有保护外壳，所述合成炉体的内部设有点燃合成内炉，所述保护外壳与点燃合成内炉之间形成有冷凝室，所述冷凝室的内部设有冷凝吸热水管。本实用新型通过从冷凝进水管内接入冷凝水，通过冷凝水在冷凝吸热水管内的流动，吸走制备过程中产生的热量，通过从冷凝出水管排出，从而带走内部的热量，起到冷凝散热的效果，从而对仪器进行有效的保护，提高氯化氢合成炉的使用寿命，达到了冷凝功能的优点，从而有效的解决了现有氯化氢合成炉不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

主权项

1.一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉，包括氯化氢合成炉(1)，其特征在于：所述氯化氢合成炉(1)包括合成炉体(2)，所述合成炉体(2)的外侧设有保护外壳(8)，所述合成炉体(2)的内部设有点燃合成内炉(10)，所述保护外壳(8)与点燃合成内炉(10)之间形成有冷凝室(9)，所述冷凝室(9)的内部设有冷凝吸热水管(11)，所述冷凝吸热水管(11)套接在点燃合成内炉(10)的外侧，所述冷凝吸热水管(11)的顶端连接有冷凝进水管(6)，所述冷凝吸热水管(11)的底端连接有冷凝出水管(7)，所述保护外壳(8)的内部开设有延伸开口，所述冷凝进水管(6)和冷凝出水管(7)均通过延伸开口延伸至合成炉体(2)的外侧，所述冷凝进水管(6)的内部开设有进水口(15)，所述冷凝吸热水管(11)的顶端固定连通有第二连接管(14)，所述冷凝吸热水管(11)的顶端通过第二连接管(14)与冷凝进水管(6)进行连接，所述冷凝出水管(7)的内部开设有出水口(13)，所述冷凝吸热水管(11)的底端固定连通有第一连接管(12)，所述冷凝吸热水管(11)的底端通过第一连接管(12)与冷凝出水管(7)进行连接。