[实用新型]一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉

说明书

本实用新型公开了一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉，包括氯化氢合成炉，所述氯化氢合成炉包括合成炉体，所述合成炉体的外侧设有保护外壳，所述合成炉体的内部设有点燃合成内炉，所述保护外壳与点燃合成内炉之间形成有冷凝室，所述冷凝室的内部设有冷凝吸热水管。本实用新型通过从冷凝进水管内接入冷凝水，通过冷凝水在冷凝吸热水管内的流动，吸走制备过程中产生的热量，通过从冷凝出水管排出，从而带走内部的热量，起到冷凝散热的效果，从而对仪器进行有效的保护，提高氯化氢合成炉的使用寿命，达到了冷凝功能的优点，从而有效的解决了现有氯化氢合成炉不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，具体为一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉。

背景技术

多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。

现有的西门子法多晶硅制备方法需要使用到氯化氢合成炉，通过氯化氢合成炉进行氯化氢的合成，通过合成氯化氢方便进行多晶硅的制备，氯化氢的合成需要进行氯气和氢气的点燃，点燃会产生大量的反应热，过大的热量，会造成仪器设备的损坏，从而影响氯化氢的生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉，具备冷凝功能的优点，解决了现有氯化氢合成炉不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉，包括氯化氢合成炉，所述氯化氢合成炉包括合成炉体，所述合成炉体的外侧设有保护外壳，所述合成炉体的内部设有点燃合成内炉，所述保护外壳与点燃合成内炉之间形成有冷凝室，所述冷凝室的内部设有冷凝吸热水管，所述冷凝吸热水管套接在点燃合成内炉的外侧，所述冷凝吸热水管的顶端连接有冷凝进水管，所述冷凝吸热水管的底端连接有冷凝出水管，所述保护外壳的内部开设有延伸开口，所述冷凝进水管和冷凝出水管均通过延伸开口延伸至合成炉体的外侧，所述冷凝进水管的内部开设有进水口，所述冷凝吸热水管的顶端固定连通有第二连接管，所述冷凝吸热水管的顶端通过第二连接管与冷凝进水管进行连接，所述冷凝出水管的内部开设有出水口，所述冷凝吸热水管的底端固定连通有第一连接管，所述冷凝吸热水管的底端通过第一连接管与冷凝出水管进行连接。

优选的，所述点燃合成内炉的底部分别固定连通有氢气进气管和氯气进气管，所述氢气进气管和氯气进气管的另一端均贯穿保护外壳延伸至合成炉体的外侧，所述氢气进气管位于氯气进气管的左侧。

优选的，所述点燃合成内炉的顶部固定连通有氯化氢出气管，所述氯化氢出气管的顶端贯穿保护外壳延伸至合成炉体的外侧。

优选的，所述氯化氢出气管的顶端连接有密封顶板，所述密封顶板的顶部固定连接有控制把手，所述氯化氢出气管的内部开设有出气口，所述密封顶板的底部固定连接有合金密封塞，所述密封顶板通过合金密封塞与氯化氢出气管进行连接。

优选的，所述第一连接管和第二连接管的外侧面均设有螺纹连接外层，所述出水口和进水口的内侧面均设有螺纹连接内层，所述第一连接管通过螺纹连接外层与出水口内侧面的螺纹连接内层进行螺纹连接，所述第二连接管通过螺纹连接外层与进水口内侧面的螺纹连接内层进行螺纹连接。

优选的，所述合金密封塞的外表面设有螺纹连接外层，所述出气口的内侧面设有螺纹连接内层，所述合金密封塞通过螺纹连接外层与出气口内侧的螺纹连接内层进行螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置密封顶板和合金密封塞对氯化氢出气管进行密封，方便点燃合成内炉进行氯化氢的合成处理，不易发生气体泄漏，提高合成效率。