[实用新型]一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构的两个子结构左右对称分布在横梁中部支撑直梁和驱动电容的两侧，并分别与横梁连接，该横梁通过中部支撑直梁和端部折叠梁与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固，使中层的机械结构部分悬空在上层封装盖板和下层硅衬底之间。本实用新型实现了转动模态输出，降低了驱动模态和检测模态之间的运动耦合，减少了驱动电容在工作中的变化，提高了陀螺性能的稳定性，并使高阶模态频率大于工作模态频率两倍以上，起到了有效的模态隔离，具有较强的抗振动干扰能力。

主权项

一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构包括驱动电容（8）、两个驱动检测电容（7）、两个子结构（1）、两个横梁（3）、两个中部支撑直梁（9）和四个折叠支撑梁（2）；所述两个子结构（1）左右对称分布在中部支撑直梁（9）的两侧；所述两个横梁（3）均与两个子结构（1）相连，且上下对称分布在两个子结构（1）的上部和下部；所述两个中部支撑直梁（9）上下对称分布，一端与横梁（3）的中部的内侧相连，另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固；所述四个折叠支撑梁（2）对称分布在整个结构的四角位置，一端横梁（3）端部相连，另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固，折叠支撑梁（2）与横梁（3）的夹角为45°；两个驱动检测电容（7）设置在驱动电容（8）的上部和下部，驱动电容（8）和两个驱动检测电容（7）位于两个子结构（1）之间。