[实用新型]一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪

权利要求书

1.一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构包括驱动电容（8）、两个驱动检测电容（7）、两个子结构（1）、两个横梁（3）、两个中部支撑直梁（9）和四个折叠支撑梁（2）；所述两个子结构（1）左右对称分布在中部支撑直梁（9）的两侧；所述两个横梁（3）均与两个子结构（1）相连，且上下对称分布在两个子结构（1）的上部和下部；所述两个中部支撑直梁（9）上下对称分布，一端与横梁（3）的中部的内侧相连，另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固；所述四个折叠支撑梁（2）对称分布在整个结构的四角位置，一端横梁（3）端部相连，另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固，折叠支撑梁（2）与横梁（3）的夹角为45°；两个驱动检测电容（7）设置在驱动电容（8）的上部和下部，驱动电容（8）和两个驱动检测电容（7）位于两个子结构（1）之间。

2.根据权利要求1所述的转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述子结构（1）包括质量块（4）、两个检测电容（6）和四个驱动连接梁（5）；质量块（4）为矩形，并在四个角上分别切出长方形缺口，所述缺口通过驱动连接梁（5）与横梁（3）相连；驱动电容（8）和两个驱动检测电容（7）位于两个子结构（1）的质量块（4）之间，质量块（4）的两侧分别布置若干活动梳齿，一侧与驱动电容（8）的固定梳齿和驱动检测电容（7）的固定梳齿配合；两个检测电容（6）上下并列分布在质量块（4）的另一侧，检测电容（6）的固定梳齿与质量块（4）的活动梳齿配合。

3.根据权利要求2所述的转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述驱动连接梁（5）包括两个平行的直梁，一端与横梁（3）连接，另一端和质量块（4）相连，且沿质量块（4）长度方向布置。

4.根据权利要求2所述的转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述位于不同子结构（1）上的检测电容（6）的固定梳齿采用反对称布置。

5.根据权利要求1所述的转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述横梁（3）为水平布置的矩形板，两端分别与折叠支撑梁（2）相连，中部内侧与支撑直梁（9）相连。

6.根据权利要求1所述的转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：每一个折叠梁支撑梁（2）包括三个平行的直梁，直梁端部依次通过连接段相连形成折叠梁。