[实用新型]一种电子背散射衍射仪样品台有效
| 申请号： | 201721127597.1 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN207133209U | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 马广财;张重远 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 许宗富,周秀梅 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子背散射衍射仪样品台，属于金属材料分析测试技术领域。该样品台包括固定面、底座、真空电机和旋转台。固定底座的固定面与底座呈70°夹角，固定面上安装真空电机，真空电机配有圆形旋转台，其表面带有安装单晶硅标样和被测样品的定位孔和基准线。真空电机连接外部控制器，实现旋转台0‑360°旋转。当样品和标样固定在旋转台上时，它们的基准边与样品台基准线平行，样品的待测表面与旋转台面平行，通过调节外部控制器实现样品纵向、横向精确旋转，旋转精度可控制在0.036度，保证被测样品的样品坐标系与样品台坐标系重合。本实用新型能够精确实现样品原位旋转，实现纵向、横向同时精确测试的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 散射 衍射 样品 | ||
【主权项】：
一种电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：该样品台包括底座、固定台、真空电机和旋转台；其中：所述固定台由所述底座进行支撑，固定台上设有固定面，所述固定面与底座呈70°夹角；所述固定台的固定面上开有凹槽，凹槽用于安装并固定真空电机；所述真空电机上连接圆形旋转台，旋转台表面带有定位孔和基准线。
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