[实用新型]一种电子背散射衍射仪样品台

权利要求书

1.一种电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：该样品台包括底座、固定台、真空电机和旋转台；其中：所述固定台由所述底座进行支撑，固定台上设有固定面，所述固定面与底座呈70°夹角；所述固定台的固定面上开有凹槽，凹槽用于安装并固定真空电机；所述真空电机上连接圆形旋转台，旋转台表面带有定位孔和基准线。

2.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：所述真空电机上的旋转台与所述固定面相平行。

3.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：所述真空电机与外部控制器相连接，外部控制器能够控制旋转台在所在平面进行0-360°旋转；通过外部控制器能够实现旋转台上的样品进行纵向和横向精确旋转，旋转精度控制在0.036度以上。

4.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：所述固定面上开设的凹槽与所述真空电机的尺寸相适应。

5.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：所述旋转台上的定位孔用于安装单晶硅标样的样品台和被测样品的样品台，单晶硅标样的样品台和被测样品的样品台高度可调；所述旋转台上的基准线能够与扫描电镜基线重合或平行。

6.根据权利要求1所述的电子背散射衍射仪样品台，其特征在于：所述电子背散射衍射仪样品台由不锈钢材料制成，或者由导电性大于等于不锈钢的材料制成；所述电子背散射衍射仪样品台的总重量不大于电镜规定的最大载荷的2/3。