[实用新型]微机电的流体控制装置有效
| 申请号： | 201721106603.5 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN210738778U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;薛达伟;张英伦;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;韩永隆;黄启峰 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;F04B49/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本案提供一种微机电的流体控制装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振膜、致动膜、压电膜及出口板依序堆叠设置，共振膜与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电膜驱动致动膜时，流体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振膜的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制流体的流通。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 流体 控制 装置 | ||
【主权项】：
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