[实用新型]微机电的流体控制装置

说明书

本案提供一种微机电的流体控制装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振膜、致动膜、压电膜及出口板依序堆叠设置，共振膜与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电膜驱动致动膜时，流体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振膜的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制流体的流通。

【技术领域】

本案是关于一种微机电的流体控制装置，尤指一种透过微型、薄型且静音的微机电的流体控制装置。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的流体输送装置已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。

于现有技术中，流体输送装置主要以传统的机构部件堆叠而构成，并以每一个机构部件极小化或厚度薄化的方式，来达到整体装置微型化、薄型化的目的。然而，传统机构件在微小化后，其尺寸精度控制不易，且组装精度同样难以掌控，进而造成产品良率不一，甚至有流体传送的流量不稳定等问题。

再者，已知的流体传输装置亦具有输送流量不足的问题，透过单一流体传输装置难以因应大量流体传输的需求，且已知的流体传输装置通常有外凸的导接脚以供通电连接之用，故若欲将多个已知的流体传输装置并排设置以提高传输量，其组装精度同样不易控制，导接脚容易造成设置的障碍，且亦导致其外接的供电线设置复杂，因此仍难以透过此方式提高流量，排列方式亦较无法灵活运用。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用流体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，且克服微型尺寸精度不易掌控、流量不足的问题，且可灵活运用于各式装置的微型流体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【实用新型内容】

本案的主要目的在于提供一种微机电的流体控制装置，借由微机电制程制出一体成型的微型化流体控制装置，以克服传统流体输送装置无法同时兼具体积小、微型化、尺寸精度掌控以及流量不足的问题。

为达上述目的，本案的一较广义实施样态为提供一种微机电的流体控制装置，其由至少一导流单元所构成，该至少一导流单元包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振膜，为面型微加工技术制成的悬浮结构，具有一中空孔洞及多个可动部；一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有多个悬浮部、一外框部及至少一空隙；一压电膜，贴附于该致动膜的该悬浮部的一表面；一出口板，具有一出口孔；其中，该入口板、该基材、该共振膜、该致动膜及该出口板是依序对应堆叠设置，该导流单元的该共振膜及该致动膜之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动膜及该出口板之间形成一第二腔室，当该导流单元的该压电膜驱动该致动膜时，流体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室，并流经该共振膜的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以控制流体的流通。

【附图说明】

图1为本案为第一较佳实施例的微机电的流体控制装置之外观结构示意图。

图2为图1所示的微机电的流体控制装置的剖面结构示意图。

图3A为图2所示的微机电的流体控制装置的剖面的单一导流单元局部放大结构示意图。

图3B至图3E为图3A所示的微机电的流体控制装置的单一导流单元作动流程局部示意图。

图4为本案为第二较佳实施例的微机电的流体控制装置之外观结构示意图。