[实用新型]液帘分叉检测装置有效
申请号: | 201721100261.6 | 申请日: | 2017-08-30 |
公开(公告)号: | CN207265015U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 王恩来 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人: | 蔡纯,张靖琳 |
地址: | 215301 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种液帘分叉检测装置,用于自动检测液帘分叉,所述液帘包括第一端及第二端,包括在液帘的第一端和第二端之间运动的探针;控制器,与所述探针经由信号检测线相连,用于获取液帘对探针产生的压力信号,根据所述压力信号判断液帘是否出现分叉。本实用新型提供的液帘分叉检测装置,通过控制器获取探针经过液帘时液帘对探针产生的压力信号,并且判断到所述压力信号的强度发生变化时,控制器产生警报以提示液帘出现分叉,从而实现自动检测液帘分叉,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 分叉 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种液帘分叉检测装置,用于自动检测液帘分叉,所述液帘包括第一端及第二端,其特征在于,包括:在液帘的第一端和第二端之间运动的探针;控制器,与所述探针经由信号检测线相连,用于获取探针检测到的压力信号,根据所述压力信号判断液帘是否出现分叉。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造