[实用新型]液帘分叉检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于显示器制造技术领域，更具体地，涉及一种液帘分叉检测装置。

背景技术

薄膜晶体管(TFT)制备技术是采用新材料和新工艺的大规模半导体集成电路技术，在玻璃或塑料基板等非单晶片上制作大规模半导体集成电路，通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必须的各种模。在薄膜晶体管制备工艺中，需要阵列制程、组立制程、模组制程等等步骤。

ITO(锡铟氧化物)蚀刻工艺是其中重要一环。蚀刻工艺是利用化学药品对基板表面的金属进行腐蚀，从而达到去掉部分金属的目的，因此需要用到液刀喷洒化学药液。而在预先对在湿法刻蚀工艺中，需要用到液刀喷洒水进行预湿润。

图1示出了现有技术中液刀装置的结构示意图。所述液刀装置10包括液刀本体11和储液槽12，其中，所述储液槽12与所述液刀本体11通过输液管路13连接，所述储液槽12的出口处设置有泵14，用于将液体从储液槽12通过输液管路13输送至液刀本体11，液刀本体11将所述液体喷射形成液帘15。然而液刀预湿润或者蚀刻其他设备时，由于液刀本体11的出口受到微粒的堵塞或者其他因素的影响下，液刀本体11喷射形成的液帘15会产生分叉16，导致玻璃表面形成横条状白点异常，从而造成后续工艺的刻蚀不均等不良现象发生。现有技术中，在输液管路上设置有流量计17，测量输液管路13的液体流量来监控液刀喷洒状态，但是出现分叉16时输液管路13的液体流量变化不明显，因此，无法检测液刀喷射形成的液帘是否有分叉16。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液帘分叉检测装置。

根据本实用新型的一方面，提供一种液帘分叉检测装置，用于自动检测液帘分叉，所述液帘包括第一端及第二端，包括：在液帘的第一端和第二端之间运动的探针；控制器，与所述探针经由信号检测线相连，用于获取液帘对探针产生的压力信号，根据所述压力信号判断液帘是否出现分叉。

优选地，所述液帘分叉检测装置还包括：

驱动模块，分别与所述探针和所述控制器连接，用于根据所述控制器发送的控制信号驱动或中断探针在液帘的第一端和第二端之间运动。

优选地，所述驱动模块包括：传动单元，与所述液帘相对设置，并沿液帘的第一端向第二端延伸，用于承载探针；

驱动单元，与所述传动单元连接，用于根据控制信号驱动或中断传动单元。

优选地，所述液帘分叉检测装置还包括：

提示模块，与所述控制器连接用于当所述控制器判断到压力信号的强度发生变化时提示液帘出现分叉优选地，所述提示模块包括：多个提示单元，与所述液帘相对设置，并沿液帘的第一端向第二端延伸的方向间隔设置。

优选地，所述控制器判断到压力信号的强度发生变化时，获取压力信号变化时探针的位置信息，并触发与探针的位置信息对应的提示单元，以提示与所述位置信息对应的液帘出现分叉。

优选地，所述提示单元为LED灯。

优选地，所述液帘分叉检测装置还包括：

触摸传感器，与所述控制器连接，用于检测到触摸信号时触发控制器产生控制信号。

优选地，所述控制信号用于驱动或中断探针在液帘的第一端和第二端之间运动。

本实用新型提供的液帘分叉检测装置，通过控制器获取探针经过液帘时液帘对探针产生的压力信号，并且判断到所述压力信号的强度发生变化时，控制器产生警报以提示液帘出现分叉，从而实现自动检测液帘分叉，提高工作效率。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出了现有技术中液帘装置的结构示意图；

图2示出了本实用新型实施例中提供的液帘分叉检测装置的结构示意图；

图3示出了根据本实用新型另一实施例中提供的液帘分叉检测装置的结构示意图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。

本实用新型可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。在通篇说明书及权利要求书当中所提及的「包含」是为一开放式的用语，故应解释成「包含但不限定于」。此外，「电性连接」一词在此是包含任何直接及间接的电气连接手段。因此，若文中描述一第一装置电性连接于一第二装置，则代表该第一装置可直接连接于该第二装置，或透过其它装置或连接手段间接地连接至该第二装置。