[实用新型]一种电子束激发荧光成像光谱检测系统

摘要

本实用新型公开了一种电子束激发荧光成像光谱检测系统，其主要包括CCD图像采集装置、管镜、同轴照明装置、荧光接收物镜、真空室、光谱仪、真空泵、灯丝、负电极、正电极、光阑和样品架等部分组成。本实用新型利用电子束激发荧光，实现了将电子束作为激发源，激发能量以可见光形式释放。仅利用一种激发源，就可以实现200‑1100nm波段内的电子束激发荧光成像光谱检测，弥补和改进了光致发光检测的不足和弊端。

主权项

一种电子束激发荧光成像光谱检测系统，其特征在于，包括CCD图像采集装置(1)、管镜(2)、同轴照明装置(3)、荧光接收物镜(4)、真空室(5)、光谱仪(6)和真空泵(7)；所述CCD图像采集装置(1)与所述管镜(2)固定连接，所述管镜(2)与所述荧光接收物镜(4)之间固定安装有分光棱镜(61)和第一反射镜(32)，所述分光棱镜(61)与水平正方向的夹角为45度，所述第一反射镜(32)与水平正方向的夹角为135度，且所述分光棱镜(61)位于靠近所述管镜(2)的一侧，所述荧光接收物镜(4)远离所述第一反射镜(32)的一端安装在所述真空室(5)的侧壁上；所述同轴照明装置(3)位于所述管镜(2)上方，所述第一反射镜(32)上方固定安装有与其平行的第二反射镜(31)，所述分光棱镜(61)下方安装有所述光谱仪(6)；所述真空泵(7)与所述真空室(5)连通，用以对所述真空室(5)抽真空；所述真空室(5)内部固定安装有样品架(12)，所述样品架(12)与水平正方向的夹角为45度，且所述样品架(12)位于所述荧光接收物镜(4)的水平正方向前方，所述样品架(12)正上方从上到下依次固定安装有灯丝(8)、正电极(9)、负电极(10)和光阑(11)，所述正电极(9)、负电极(10)和光阑(11)中央均开设有孔，且所述正电极(9)、负电极(10)和光阑(11)上的孔位于一条竖直线上。