[实用新型]一种电子束激发荧光成像光谱检测系统

权利要求书

1.一种电子束激发荧光成像光谱检测系统，其特征在于，包括CCD图像采集装置(1)、管镜(2)、同轴照明装置(3)、荧光接收物镜(4)、真空室(5)、光谱仪(6)和真空泵(7)；所述CCD图像采集装置(1)与所述管镜(2)固定连接，所述管镜(2)与所述荧光接收物镜(4)之间固定安装有分光棱镜(61)和第一反射镜(32)，所述分光棱镜(61)与水平正方向的夹角为45度，所述第一反射镜(32)与水平正方向的夹角为135度，且所述分光棱镜(61)位于靠近所述管镜(2)的一侧，所述荧光接收物镜(4)远离所述第一反射镜(32)的一端安装在所述真空室(5)的侧壁上；所述同轴照明装置(3)位于所述管镜(2)上方，所述第一反射镜(32)上方固定安装有与其平行的第二反射镜(31)，所述分光棱镜(61)下方安装有所述光谱仪(6)；所述真空泵(7)与所述真空室(5)连通，用以对所述真空室(5)抽真空；所述真空室(5)内部固定安装有样品架(12)，所述样品架(12)与水平正方向的夹角为45度，且所述样品架(12)位于所述荧光接收物镜(4)的水平正方向前方，所述样品架(12)正上方从上到下依次固定安装有灯丝(8)、正电极(9)、负电极(10)和光阑(11)，所述正电极(9)、负电极(10)和光阑(11)中央均开设有孔，且所述正电极(9)、负电极(10)和光阑(11)上的孔位于一条竖直线上。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述同轴照明装置(3)内部安装有LED光源，LED光源发出的光通过非球面透镜进行准直，继而通过石英光导进行匀化，穿过聚光器孔径获得平行光，经过扩束镜扩束，以45度入射角照射在所述第二反射镜(31)上。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空泵(7)包括相互连接的粗抽泵和涡轮分子泵。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，CCD图像采集装置(1)和光谱仪(6)构成共聚焦成像采集系统，通过CCD图像采集装置(1)获得清晰图像，通过光谱仪(6)显示样品的特征谱线，最后通过荧光光谱的波长和强度所确定的特征峰分析样品材料的特性。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，给灯丝(8)加100-180V的电压，通过改变电压改变发射电子的数量，然后给由正电极(9)和负电极(10)构成的加速电极加0-40KV的电压，通过改变电压改变发射电子的能量。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，电子枪的灯丝(8)发热后逸出的电子在正电极(9)高压的加速下射出，负电极(10)和正电极(9)组成一个加速电极，经过光阑(11)去除电子束中大角度电子后照射到样品架(12)的上的样品上，能量在几千电子伏以上的高速电子打到样品材料表面时，大部分都进入样品材料内部，产生速度越来越低的次级电子，直到样品材料中出现大量的能量在几电子伏到十几电子伏的低速电子。