[实用新型]基板外观检查机及其基板送料机构有效
| 申请号： | 201720949176.0 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN207300849U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 刘冰 | 申请（专利权）人： | 联策科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司11335 | 代理人： | 赵倩 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板外观检查机及其基板送料机构，该基板送料机构安装于该基板外观检查机，用以传送在一动作路径上的两片基板，包括一第一驱动装置，驱动一滑块在一滑轨上进行正、反方向的往复运动；以及至少一推头，安装于该滑块上，其中，当该第一驱动装置驱动该滑块在正方向运动时，该推头沿该动作路径推动该两片基板，且当该第一驱动装置驱动该滑块在反方向运动时，该推头退出该动作路径。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 及其 基板送料 机构 | ||
【主权项】：
一种基板外观检查机，包括一基板进料机构与一基板送料机构，所述基板进料机构用以每次从一待料区将两片基板放置于一动作路径上；所述基板送料机构特征在于，包括：一第一驱动装置，驱动一滑块在一滑轨上进行正、反方向的往复运动；以及至少一推头，安装于所述滑块上，当所述第一驱动装置驱动所述滑块在正方向运动时，所述推头沿所述动作路径推动所述两片基板，且当所述第一驱动装置驱动所述滑块在反方向运动时，所述推头退出所述动作路径。
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