[实用新型]静电卡盘

摘要

本实用新型提供一种静电卡盘，其包括底座、设置在所该底座上的加热层及设置在该加热层上的绝缘层，在底座与绝缘层之间，且环绕在加热层的外周壁上设置有环状保护部件，该环状保护部件采用抗等离子体腐蚀的弹性材料制作，且环状保护部件在底座与绝缘层之间处于压缩变形状态，以实现加热层与等离子体相隔离。本实用新型提供的静电卡盘，其环状保护部件具有较高的抗等离子体腐蚀性，从而可以增强对加热层的保护作用，而且该环状保护部件可以实现定期更换，且不会损坏加热层，从而延长了静电卡盘的使用寿命。

主权项

一种静电卡盘，包括底座、设置在所述底座上的加热层及设置在所述加热层上的绝缘层，所述加热层的外径小于所述底座的外径和所述绝缘层的外径，其特征在于，还包括环状保护部件，所述环状保护部件可拆卸地环绕设置在所述加热层的外周壁上。