[实用新型]一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置

摘要

本实用新型提供了一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板，所述水路背板的顶面中心位置内凹设有背板水路口，所述背板水路口上端的水路背板上设有上模，且背板水路口下端对应设有下模，所述上模上端连通连通气管接头，所述气管接头通过气管密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模的两端贯穿设有上模螺孔，所述上模螺孔内通过螺纹结构贯穿设有螺丝，所述螺丝依次贯穿上模、水路背板和下膜，该螺丝下端固定在下模的下模螺孔内，且位于下模下方的螺丝上配合有螺母。本实用新型装置连接操作简便，工作不用受环境约束,可以随意移动，而氦气质谱检测仪高速分子泵需要相对静止的工作环境，对环境要求高。

主权项

一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板（11），所述水路背板（11）的顶面中心位置内凹设有背板水路口（12），其特征在于：所述背板水路口（12）上端的水路背板（11）上设有上模（1），且背板水路口（12）下端对应设有下模（6），所述上模（1）上端连通气管接头（2），所述气管接头（2）通过气管（4）密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模（1）的两端贯穿设有上模螺孔（3），所述上模螺孔（3）内通过螺纹结构贯穿设有螺丝（10），所述螺丝（10）依次贯穿上模（1）、水路背板（11）和下模（6），该螺丝（10）下端固定在下模（6）的下模螺孔（8）内，且位于下模（6）下方的螺丝（10）上配合有螺母。