[实用新型]一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置

权利要求书

1.一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板（11），所述水路背板（11）的顶面中心位置内凹设有背板水路口（12），其特征在于：所述背板水路口（12）上端的水路背板（11）上设有上模（1），且背板水路口（12）下端对应设有下模（6），所述上模（1）上端连通气管接头（2），所述气管接头（2）通过气管（4）密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模（1）的两端贯穿设有上模螺孔（3），所述上模螺孔（3）内通过螺纹结构贯穿设有螺丝（10），所述螺丝（10）依次贯穿上模（1）、水路背板（11）和下模（6），该螺丝（10）下端固定在下模（6）的下模螺孔（8）内，且位于下模（6）下方的螺丝（10）上配合有螺母。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，其特征在于：所述上模（1）和下模（6）上对着背板水路口（12）的侧面上内凹设有环形凹槽，该环形凹槽内分别设有上密封圈（5）和下密封圈（7），该两个密封圈分别紧密接触在水路背板（11）的顶面和底面上。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，其特征在于：所述气管接头（2）和上模（1）的截面构成工字型，且气管接头（2）和上模（1）的内部贯通有注液腔（9），该注液腔（9）位于背板水路口（12）的上端。