[实用新型]一种显微镜检测机台的聚焦装置

摘要

一种显微镜检测机台的聚焦装置，包括显微镜、探针平台和平台底支架，显微镜为固定式，其高度不可调整，探针平台下方设置有滑动斜面，滑动斜面可向上或向下滑动调整显微镜与探针平台的高度差，滑动斜面与平台底支架之间还设置有至少两根稳定升降杆和至少两根支撑弹簧保持高度调整过程中的稳定性。由于采用了显微镜固定、探针平台移动的方式聚集，这种方式解决了聚集时的震动和抖动问题，聚焦精度受机械结构的影响较小，可以提高聚集时的线性顺滑度，使得3D测量时层次更加清晰，可以实现测量高精度、宽景深多层次测量的画，可以快速捕获高精度，宽景深多层次的测量画面。

主权项

一种显微镜检测机台的聚焦装置,包括显微镜、探针平台和平台底支架，所述显微镜处于探针平台正上方，两者之间的高度差可调整，其特征在于还包括：聚焦支架和聚焦按钮，所述聚焦按钮与聚焦支架一端相连接，所述探针平台下方设置有滑动斜面，所述滑动斜面与聚焦支架另一端相连接，所述聚焦按钮旋转时，通过所述聚焦支架带动所述滑动斜面向上或向下滑动，所述滑动斜面向上或向下滑动时，置于其上的探针平台跟随着向上或向下移动；所述显微镜为固定式，其高度不可调整，所述探针平台向上或向下移动时，显微镜与探针平台的高度差改变；所述滑动斜面与平台底支架之间设置有至少两根稳定升降杆和至少两根支撑弹簧。