[实用新型]一种显微镜检测机台的聚焦装置

说明书

技术领域

本申请涉及检测机台技术领域，具体涉及一种显微镜检测机台的聚焦装置。

背景技术

检测机台是指通过显微镜和探针对平面物品、零部件进行放大测量和3D测量的检测设备。针对不同的待检测物体，检测机台在使用时需要改变显微镜镜头与待检测物体之间的距离，调整焦距，进行聚焦。现有的显微镜是可上下移动的，通过平台丝杆或齿轮上下调整显微镜的高度可实现聚焦。但这样的方式聚集精度低、景深调节范围小，特别是，平台丝杆或齿轮在进行调焦时会产生震动和的抖动现象，影响聚焦的精度，使得现有的聚焦装置受机械结构的影响较大。

发明内容

本申请提供一种显微镜检测机台的聚焦装置，使得聚焦时受机械结构的影响较小，提高聚焦的精度。

本申请提供一种显微镜检测机台的聚焦装置,包括显微镜、探针平台和平台底支架，所述显微镜处于探针平台正上方，两者之间的高度差可调整，还包括：聚焦支架和聚焦按钮，所述聚焦按钮与聚焦支架一端相连接，所述探针平台下方设置有滑动斜面，所述滑动斜面与聚焦支架另一端相连接，所述聚焦按钮旋转时，通过所述聚焦支架带动所述滑动斜面向上或向下滑动，所述滑动斜面向上或向下滑动时，置于其上的探针平台跟随着向上或向下移动；

所述显微镜为固定式，其高度不可调整，所述探针平台向上或向下移动时，显微镜与探针平台的高度差改变；

所述滑动斜面与平台底支架之间设置有至少两根稳定升降杆和至少两根支撑弹簧。

在一些实施例中，所述平台底支架下方还设置有至少两块减震垫。

依据上述实施例，本申请的聚焦装置由于采用了显微镜固定、探针平台移动的方式聚集，这种方式解决了聚集时的震动和抖动问题，聚焦精度受机械结构的影响较小，可以提高聚集时的线性顺滑度，使得3D测量时层次更加清晰，可以实现测量高精度、宽景深多层次测量的画，可以快速捕获高精度，宽景深多层次的测量画面。

附图说明

图1为一种显微镜检测机台的聚焦装置示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

参考图1，本申请提供了一种显微镜检测机台的聚焦装置,该装置包括显微镜1、探针平台2和平台底支架7，显微镜1处于探针平台2正上方，两者之间的高度差可调整。

该装置还包括：聚焦支架5和聚焦按钮3，聚焦按钮3与聚焦支架5一端相连接，探针平台2下方设置有滑动斜面9，滑动斜面9与聚焦支架5另一端相连接，聚焦按钮3旋转时，通过聚焦支架5带动滑动斜面9向上或向下滑动，滑动斜面9向上或向下滑动时，置于其上的探针平台2跟随着向上或向下移动。

显微镜1为固定式，其高度不可调整，探针平台2向上或向下移动时，显微镜1与探针平台2的高度差改变，改变了显微镜镜头与待检测物体之间的距离，调整焦距，实现聚焦。

滑动斜面9与平台底支架7之间设置有至少两根稳定升降杆4和至少两根支撑弹簧6，可保证探针平台2向上或向下移动时的平缓和稳定。

在一些实施例中，平台底支架下方还设置有至少两块减震垫8，来抑制不必要的平台震动，确保平台底支架7的稳定性而实现精确调焦。

本申请的的聚焦装置工作原理为：

显微镜1为固定的条件下，通过旋转调整聚焦旋钮3推动聚焦支架5，聚焦支架5带动探针平台2下方的滑动斜面9上下滑动，使得探针平台2跟随着向上或向下移动，从而改变探针平台2与显微镜之间1的距离。在调节过程中，通过稳定升降杆4和支撑弹簧6的相互作用减少斜面滑动时的空隙摩擦，并通过增加减震垫8吸收能量，来抑制不必要的平台震动，确保平台底支架7的稳 定性而实现精确调节聚焦。

由此可见，本申请采用了显微镜固定、探针平台移动的方式聚集，这种方式解决了聚集时的震动和抖动问题，聚焦精度受机械结构的影响较小，可以提高聚集时的线性顺滑度，使得3D测量时层次更加清晰，可以实现测量高精度、宽景深多层次测量的画，可以快速捕获高精度，宽景深多层次的测量画面。

以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。