[实用新型]电声MEMS换能器、麦克风和电子设备有效
| 申请号： | 201720762832.6 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208337874U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | M·佩尔勒蒂;S·洛萨;L·滕托里;M·C·图里 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本公开涉及电声MEMS换能器、麦克风和电子设备，该电声MEMS换能器具有：半导体材料的衬底(23)；在该衬底中的贯通空腔(24)；背板(25)，该背板由该衬底通过板锚定结构(26)承载，该背板具有面向该贯通空腔的表面(25A)；固定电极(33)，该固定电极在该背板的该表面之上延伸；采用导电材料的薄膜(22)，该薄膜具有面向该固定电极的中心部分(22A)以及通过薄膜锚定结构(26)固定到该背板(25)的该表面(25A)上的外围部分(22B)；以及在该薄膜(22)与该背板(25)之间的腔室(28)，该腔室由该薄膜锚定结构外围地界定。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 薄膜 固定电极 衬底 电子设备 贯通空腔 锚定结构 麦克风 腔室 半导体材料 外围 导电材料 板锚 界定 承载 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种电声MEMS换能器，其特征在于，包括：采用半导体材料的衬底(23)；在所述衬底中的贯通空腔(24)；背板(25)，所述背板由所述衬底通过板锚定结构承载，所述背板具有面向所述贯通空腔的表面(25A)；固定电极(33)，所述固定电极在所述背板的所述表面之上延伸；采用导电材料的薄膜(22)，所述薄膜具有面向所述固定电极的中心部分(22A)以及通过薄膜锚定结构固定到所述背板(25)的所述表面(25A)上的外围部分(22B)；以及在所述薄膜(22)与所述背板(25)之间的腔室(28)，所述腔室由所述薄膜锚定结构外围地界定。
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