[实用新型]具有多引出电极栅网的离子源有效
申请号: | 201720759446.1 | 申请日: | 2017-06-27 |
公开(公告)号: | CN206921784U | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 刘杰;刘康 | 申请(专利权)人: | 上海伟钊光学科技股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201822*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种具有多引出电极栅网的离子源,其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极,栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。本实用新型的有益之处是,当栅网组在某一方向上蚀刻加重后,则整体旋转栅网组一个角度后再安装,这样定期旋转不同方位安装,可使栅网孔各方向蚀刻磨损均衡,在不降低栅网孔板使用性能的前提下,栅网孔板的使用寿命可延长2至3倍。 | ||
搜索关键词: | 具有 引出 电极 离子源 | ||
【主权项】:
一种具有多引出电极栅网的离子源,其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极,栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。
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