[实用新型]具有多引出电极栅网的离子源有效
| 申请号： | 201720759446.1 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN206921784U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;刘康 | 申请（专利权）人： | 上海伟钊光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201822*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 引出 电极 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有多引出电极栅网的离子源，其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极，栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。
2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板上多个引出电极是轴对称均匀分布的。
3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板上多个引出电极是圆周方向间隔180°分布的。
4.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板上多个引出电极是圆周方向间隔120°分布的。
5.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板上多个引出电极是圆周方向间隔90°分布的。
6.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板指射频离子源的屏极、加速极、抑制极三层栅网板。
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