[实用新型]一种复合真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种复合真空镀膜机，包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀，两插板阀用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连。本实用新型结构简单、设计合理、结构紧凑，体积小、在工作上效率上以及成品品质上要明显优于现有设备。

主权项

一种复合真空镀膜机，其特征在于：包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀，两插板阀用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连；左炉体组件包括左端真空炉体、左炉工作架、左炉电弧溅射 源、左炉真空均衡室、左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置，左炉工作架安装在左端真空炉体内；左炉电弧溅射源安装在左端真空炉体一侧；左端真空炉体与左炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；左炉真空均衡室与左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置相连；左端真空炉体内还设有一个左炉热蒸发源、一个左炉加热器、多个左炉外磁控溅射源；中间炉体组件包括高真空炉体、高真空炉体真空均衡室、高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置，高真空炉体、高真空炉体真空均衡室相连，在相接位置上设置有一个档板；高真空炉体真空均衡室与高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置相接；高真空炉体内设置有至少一个高真空炉加热器、多个高真空炉磁控溅射源；右炉体组件包括右端真空炉体、右炉工作架、右炉电弧溅射源、右炉真空均衡室、右炉主真空抽气装置、右炉低温真空抽气装置，右炉工作架安装在右端真空炉体内；右炉电弧溅射源安装在右端真空炉体一侧；右端真空炉体与右炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；右炉真空均衡室与右炉主真空抽气装置、右炉低温真空抽气装置相连；右端真空炉体内还设有一个右炉热蒸发源、一个右炉加热器、多个右炉磁控溅射源。