[实用新型]一种晶体硅腐蚀补液装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅腐蚀补液装置，属于太阳能电池生产技术领域。包括药液槽、反应槽、补液槽、连接管路及控制单元，药液槽设置在补液槽的上方且通过进液管与补液槽相连通；补液槽为套装补液杯，包括内桶和外桶，内桶通过出液管与反应槽相连通，外桶通过回流管与回流槽相连通，回流槽通过返液管与药液槽相连通；进液管上设置有进液阀门和进液可控阀门，出液管上设置有出液阀门和出液可控阀门；返液管上设置有药液泵。本实用新型结构简单，设计合理，操作简便，使用方便，腐蚀液补液准确稳定、安全可靠，保证人身安全，降低设备维修成本和产品成本，避免药液补液不准带来的产品不合格现象，提高产品合格率及产品质量。

主权项

一种晶体硅腐蚀补液装置，包括药液槽(1)、反应槽(3)、补液槽、连接管路及控制单元，其特征在于所述药液槽(1)设置在补液槽的上方且通过进液管(5)与补液槽相连通；所述补液槽为套装补液杯(2)，包括内桶(9)和外桶(10)，所述内桶(9)通过出液管(6)与反应槽(3)相连通，外桶(10)通过回流管(7)与回流槽(4)相连通，所述回流槽(4)通过返液管(8)与药液槽(1)相连通；所述进液管(5)上设置有进液阀门(11)和进液可控阀门(12)，出液管(6)上设置有出液阀门(13)和出液可控阀门(14)；所述返液管(8)上设置有药液泵(15)。