[实用新型]具有双热电子源的离子源有效
| 申请号： | 201720756660.1 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN207165515U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 粘俊能 | 申请（专利权）人： | 粘俊能 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有双热电子源的离子源，包含一电弧室及一电源供应装置；其中该电源供应装置的一低压电弧电源供应单元耦接并输出一电压至该电弧室的本体及其两侧的第一及第二热电子源；该电压落在20V至45V电压范围之间，令热电子及离子通过由此电压建立的加速电场后，其能量减弱；该低能量的离子对各该第一及第二热电子源造成的喷溅效应可较和缓，以延长了各该第一及第二热电子源的使用寿命，而低能量的热电子则可避免热电子多次撞击已离子化的离子，有效减少不必要的二价或三价带正电的离子，相对提高离子束(萃取电流)中所需要离子的比例。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电子 离子源 | ||
【主权项】：
一种具有双热电子源的离子源，其特征在于，包括：一电弧室，包含有：一本体，具有一放电空间；一第一热电子源，自该本体的一第一侧穿入并电绝缘固定于该第一侧，以曝露于该本体的放电空间中；及一第二热电子源，自该本体的一第二侧穿入并电绝缘固定于该第二侧，以曝露于该本体的放电空间中；以及一电源供应装置，包含有：一加热电源供应单元，耦接至该第一及第二热电子源，构成一电流回路；及一产生20V至45V输出电压的低压电弧电源供应单元，耦接至该电弧室的本体及该第一及第二热电子源，并同时输出电压至该第一及第二热电子源。
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