[实用新型]具有双热电子源的离子源

权利要求书

1.一种具有双热电子源的离子源，其特征在于，包括：

一电弧室，包含有：

一本体，具有一放电空间；

一第一热电子源，自该本体的一第一侧穿入并电绝缘固定于该第一侧，以曝露于该本体的放电空间中；及

一第二热电子源，自该本体的一第二侧穿入并电绝缘固定于该第二侧，以曝露于该本体的放电空间中；以及

一电源供应装置，包含有：

一加热电源供应单元，耦接至该第一及第二热电子源，构成一电流回路；及

一产生20V至45V输出电压的低压电弧电源供应单元，耦接至该电弧室的本体及该第一及第二热电子源，并同时输出电压至该第一及第二热电子源。

2.根据权利要求1所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于：

该第一热电子源包含有一灯丝；

该第二热电子源包含有一灯丝，其一端连接至该第一热电子的灯丝的一端；

该加热电源供应单元包含一灯丝电源供应单元，其正、负电极分别连接至该第一及第二热电子源的灯丝的另一端，以构成该电流回路；以及

该低压电弧电源供应单元的负电极连接至该电流回路，以与该第一及第二热电子源的灯丝耦接，而正电极则连接至该本体。

3.根据权利要求1所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于：

该第一热电子源包含有一灯丝及一覆盖该第一热电子源的灯丝的阴极；

该第二热电子源包含有一灯丝及一覆盖该第二热电子源的灯丝的阴极；其中该第二热电子源的灯丝的其中一端连接至该第一热电子的灯丝的其中一端，且该第二热电子源的阴极连接至该第一热电子源的阴极；

该加热电源供应单元包含：

一灯丝电源供应单元，其正、负电极分别连接至该第一及第二热电子源的灯丝的另一端，以构成该电流回路；以及

一偏流电源供应单元，其正电极连接至其中一阴极，其负电极则连接至该电流回路，以与该第一及第二热电子源的灯丝耦接；以及

该低压电弧电源供应单元的负电极连接至该偏流电源供应单元的正电极，以与该第一及第二热电子源的阴极耦接，而正电极则连接至该本体。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于，进一步包含有：

一基座，其顶面凸设有一进气管；以及

一散热装置，设置于该基座的顶面与该电弧室的本体底面之间。

5.根据权利要求4所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于，该散热装置包含有：

一散热本体，其底面设置于该基座顶面，其顶面全平面地贴平于该电弧室本体的底面，该散热本体对应该进气管的一侧面向内凹设有一贯穿其顶面及其底面的凹槽，且该进气管的外管壁与该凹槽内壁面有一间距；以及

至少一冷却媒介管，穿经该散热本体，并自该散热本体底面向下穿出二支管，各该冷却媒介管通过该二支管填充有一流动的冷却媒介。

6.根据权利要求5所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于，该冷却媒介为冷却气体或冷却液体。

7.根据权利要求5所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于，该散热本体的二相对短侧自该顶面分别向下向内渐缩，该散热本体的底面小于顶面。

8.根据权利要求5所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于，该散热本体的二相对短侧的下部向下向内凹设一空间，该散热本体的底面小于顶面。

9.根据权利要求5所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于：

该电弧室本体的底面形成有至少一定位凸柱；

该散热本体的顶面对应各该定位凸柱形成有一定位凹槽。

10.根据权利要求5所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于：

该电弧室本体的底面形成有至少一定位凹槽；

该散热本体的顶面对应各该定位凹槽形成有一定位凸柱。

11.根据权利要求4所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于，进一步包含有多个弹性勾扣组件，其中各弹性勾扣组件包含有：

一L形固定位，螺设于该基座的下基板上；

一弹簧，其一端勾设于该L形固定位；

一勾条，其一端勾扣于该弹簧的另一端，该勾条的另一端形成有一勾部，以勾扣于位在该电弧室本体顶面的侧边。