[实用新型]晶圆切割机清洁系统

摘要

本实用新型提供一种晶圆切割机清洁系统，该系统包括喷雾装置，喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，第一喷嘴包括喷嘴固定块，喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，第一喷嘴上设有喷雾口，第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，第二喷嘴上设有喷气口，药水混合装置包括药水罐，药水罐上设有控制器与卧式离心泵，卧式离心泵包括排水口、排气口，排水口连接逆止阀，逆止阀连接药水管，切割机内设有清洗盘，喷雾口、喷气口朝向清洁盘；采用以上结构，该系统有效防止硅粉残留，达到清洗的效果，有效防静电，润滑切割刀片，减少切割时芯片的崩角。

主权项

晶圆切割机清洁系统，其特征在于，包括：喷雾装置，所述喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，所述第一喷嘴包括喷嘴固定块，所述喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，所述喷嘴固定块内设置有喷水套筒，所述喷水套筒均与所述出水口、第一出气口连通，所述喷嘴固定块连接喷嘴固定套，所述喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，所述喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，所述连接套连接所述喷水套筒，所述喷水套筒、所述连接套与所述喷嘴头相互连通，所述第一喷嘴的第一端设有喷雾口；所述第一出气口连接第一出气管，所述出水口连接出水管，所述第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，所述第二喷嘴远离所述第二出气口的一侧设有喷气口，所述喷气口与所述第二出气口连通，所述第二出气口连接第二出气管，所述第一出气管、所述第二出气管与所述出水管均与气液分离管连接；药水混合装置，所述药水混合装置包括药水罐，所述药水罐上设有卧式离心泵，所述卧式离心泵连接控制器，所述卧式离心泵连接第一排水管，所述第一排水管伸入所述药水罐内，所述卧式离心泵包括排水口和排气口，所述排水口连接第二排水管，所述第二排水管连接逆止阀；切割机，所述切割机内设有清洗盘，所述喷雾口和所述喷气口均朝向所述清洁盘；药水管，所述药水管连接所述气液分离管以及所述逆止阀；气体机，所述气体机连接所述气液分离管。