[实用新型]晶圆切割机清洁系统

权利要求书

1.晶圆切割机清洁系统，其特征在于，包括：

喷雾装置，所述喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，所述第一喷嘴包括喷嘴固定块，所述喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，所述喷嘴固定块内设置有喷水套筒，所述喷水套筒均与所述出水口、第一出气口连通，所述喷嘴固定块连接喷嘴固定套，所述喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，所述喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，所述连接套连接所述喷水套筒，所述喷水套筒、所述连接套与所述喷嘴头相互连通，所述第一喷嘴的第一端设有喷雾口；所述第一出气口连接第一出气管，所述出水口连接出水管，所述第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，所述第二喷嘴远离所述第二出气口的一侧设有喷气口，所述喷气口与所述第二出气口连通，所述第二出气口连接第二出气管，所述第一出气管、所述第二出气管与所述出水管均与气液分离管连接；

药水混合装置，所述药水混合装置包括药水罐，所述药水罐上设有卧式离心泵，所述卧式离心泵连接控制器，所述卧式离心泵连接第一排水管，所述第一排水管伸入所述药水罐内，所述卧式离心泵包括排水口和排气口，所述排水口连接第二排水管，所述第二排水管连接逆止阀；

切割机，所述切割机内设有清洗盘，所述喷雾口和所述喷气口均朝向所述清洁盘；

药水管，所述药水管连接所述气液分离管以及所述逆止阀；

气体机，所述气体机连接所述气液分离管。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洁系统，其特征在于：

所述第二喷嘴上设置有设有限位孔，所述出水管与所述第一出气管均贯穿所述限位孔。

3.根据权利要求2所述的晶圆切割机清洁系统，其特征在于：

所述气液分离管朝向所述第一喷嘴的一端设有进水口，所述进水口连接所述出水管，所述气液分离管上还设有第一进气口以及第二进气口，所述第一进气口连接所述第一出气管，所述第二进气口连接所述第二出气管，所述气液分离管内连接有进水管、第一进气管以及第二进气管，所述进水管连接所述进水口，所述第一进气管连接所述第一进气口，所述第二进气管连接第二进气口，所述进水管连接所述药水管的第一端，所述第一进气管、所述第二进气管连接所述气体机。

4.根据权利要求3所述的晶圆切割机清洁系统，其特征在于：

所述第一喷嘴、第二喷嘴以及气液分离管均固定在固定板上，所述固定板弯曲设置。

5.根据权利要求4所述的晶圆切割机清洁系统，其特征在于：

所述第二喷嘴连通喷气管，所述喷气管的自由端的管口朝向所述清洁盘。