[实用新型]一种活性反应离子镀膜机有效
| 申请号： | 201720734127.5 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN207091506U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王昱;黄振兴 | 申请（专利权）人： | 苏州康顿环保科技有限公司泰州分公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225300 江苏省泰州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实有新型提出了一种活性反应离子镀膜机，包括真空室、加热装置、工件、活化电极、活化电极电源、电子枪、电子枪电源、真空系统、偏压电源和电子枪，工件位于真空室内，工件上端设有加热装置，加热装置连接位于真空室一侧的偏压电源，工件正下方设有活化电极，活化电极连接活化电极电源，活化电极下方设有电子枪，电子枪通过发出的电子束与安装在一侧的坩埚相连接，活化电极电源和电子枪电源相连接。本实用新型提出的镀膜机结构合理，操作方便，加热速度快，效率高，降低了热能的损失，同时，加热效率好，保证了成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 活性 反应 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
一种活性反应离子镀膜机，包括真空室、加热装置、工件、活化电极、活化电极电源、电子枪、电子枪电源、真空系统、偏压电源和电子枪，其特征在于：所述工件位于真空室内，所述工件上端设有加热装置，所述加热装置连接位于真空室一侧的偏压电源，所述工件正下方设有活化电极，所述活化电极连接活化电极电源，所述活化电极下方设有电子枪，所述电子枪通过发出的电子束与安装在一侧的坩埚相连接，所述活化电极电源和电子枪电源相连接。
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