[实用新型]一种电极移动速度效应检测仪的真空控制系统

摘要

本实用新型公开了一种电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，包括电极移动速度效应检测仪、真空泵、USB转串口模块和上位机，所述的控制器分别与键盘、显示器、USB转串口模块、驱动电路模块以及气压传感器连接，同时USB转串口模块与上位机连接，驱动电路模块与质量流量控制器，所述的电极移动速度效应检测仪分别与质量流量控制器、真空泵以及气压传感器连接。本实用新型在现有的电极移动速度效应检测仪的基础上增加了真空控制系统，该真空控制系统能够实现对电极移动速度效应检测仪内真空度的自动控制，用户可根据自己的要求来灵活设置所需的真空度，操作方便，人交交互性强，成本低，具有很高的实用价值。

主权项

一种电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，包括电极移动速度效应检测仪(8)、控制器(1)、气压传感器(9)、键盘(2)、显示器(3)、质量流量控制器(7)、驱动电路模块(6)、真空泵(10)、USB转串口模块(4)和上位机(5)，其特征在于：所述的控制器(1)分别与键盘(2)、显示器(3)、USB转串口模块(4)、驱动电路模块(6)以及气压传感器(9)连接，同时USB转串口模块(4)与上位机(5)连接，驱动电路模块(6)与质量流量控制器(7)，所述的电极移动速度效应检测仪(8)分别与质量流量控制器(7)、真空泵(10)以及气压传感器(9)连接。