[实用新型]一种电极移动速度效应检测仪的真空控制系统

权利要求书

1.一种电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，包括电极移动速度效应检测仪(8)、控制器(1)、气压传感器(9)、键盘(2)、显示器(3)、质量流量控制器(7)、驱动电路模块(6)、真空泵(10)、USB转串口模块(4)和上位机(5)，其特征在于：所述的控制器(1)分别与键盘(2)、显示器(3)、USB转串口模块(4)、驱动电路模块(6)以及气压传感器(9)连接，同时USB转串口模块(4)与上位机(5)连接，驱动电路模块(6)与质量流量控制器(7)，所述的电极移动速度效应检测仪(8)分别与质量流量控制器(7)、真空泵(10)以及气压传感器(9)连接。

2.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述控制器(1)为芯片STM32F103ZET6。

3.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述气压传感器(9)为BMP180数字传感器。

4.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述气压传感器(9)为MS5611数字传感器。

5.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述显示器(3)为液晶显示器。

6.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述键盘(2)为按键式键盘。

7.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述键盘(2)为触摸屏键盘。

8.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述USB转串口模块(4)采用的芯片为CH340。

9.根据权利要求1所述的电极移动速度效应检测仪的真空控制系统，其特征在于：所述驱动电路模块(6)采用的芯片为LM358。