[实用新型]高精度激光位移测量仪

摘要

本实用新型公开了基于光束漂移补偿的直线度误差同时测量的高精度激光位移测量仪器用以解决现有导轨直线度高精度同时测量方法测量精度低、测量范围小，抗干扰能力差等问题。包括激光器、角锥棱镜、分束器、聚焦透镜、位置敏感探测器、四象限探测器、信号处理电路、二维角度调节台、二维平移台。采用角锥棱镜为光学敏感器件，通过四象限探测器和位置敏感探测器接收和测量分束后的透射光的信息，实现直线度误差、光漂补偿的测量。利用激光准直测量原理，并且实现了误差分离，增强了抗干扰能力，使用光学器件少，光源功率低，成本低廉；光学结构简单，操作方便，移动部分可不带电缆，便于现场测量；测角分辨率较高。

主权项

一种高精度激光位移测量仪，其特征在于：包括固定单元(101)和移动单元(102)，移动单元(102)固定在测试平台上；所述移动单元包括二维平移台(10)、靶镜(2)，靶镜固定在二维平移台(10)沿上，然后再固定导轨移动的测量平台上；所述固定单元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探测器(6)、位置敏感探测器(5)、聚焦透镜(4)、信号处理电路(7)的测量装置主体和二维角度调节台(9)，并且测量装置主体安装在二维角度调节台(9)上；分束器(3)和聚焦透镜(4)依次设置在靶镜(2)的透射光束的光线上，位置敏感探测器(5)设置在聚焦透镜(4)的焦平面上，四象限探测器(6)设置在分束器(3)的垂直光路上；所述位置敏感探测器(5)、四象限探测器(6)均与信号处理电路(7)相连接，信号处理电路(7)与处理计算机(8)相连接并处理分析。