[实用新型]高精度激光位移测量仪有效
| 申请号： | 201720699371.2 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN206803947U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 翟玉生;蒋留杰;刘佳明;冯飞翔;王启真;李志远;谢泽铧;王新杰 | 申请（专利权）人： | 郑州轻工业学院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450002 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高精度 激光 位移 测量仪 | ||
1.一种高精度激光位移测量仪，其特征在于：包括固定单元(101)和移动单元(102)，移动单元(102)固定在测试平台上；所述移动单元包括二维平移台(10)、靶镜(2)，靶镜固定在二维平移台(10)沿上，然后再固定导轨移动的测量平台上；所述固定单元包括由激光器(1)、分束器(3)、四象限探测器(6)、位置敏感探测器(5)、聚焦透镜(4)、信号处理电路(7)的测量装置主体和二维角度调节台(9)，并且测量装置主体安装在二维角度调节台(9)上；分束器(3)和聚焦透镜(4)依次设置在靶镜(2)的透射光束的光线上，位置敏感探测器(5)设置在聚焦透镜(4)的焦平面上，四象限探测器(6)设置在分束器(3)的垂直光路上；所述位置敏感探测器(5)、四象限探测器(6)均与信号处理电路(7)相连接，信号处理电路(7)与处理计算机(8)相连接并处理分析。
2.根据权利要求1所述的高精度激光位移测量仪，其特征在于，所述激光器(1)为He-Ne激光器或半导体激光器的激光器。
3.根据权利要求1所述的高精度激光位移测量仪，其特征在于，所述靶镜(2)为角锥棱镜。
4.根据权利要求1所述的高精度激光位移测量仪，其特征在于，所述的二维平移台(10)为可以水平方向和垂直方向精密平移手动调节的装置。
5.根据权利要求1所述的高精度激光位移测量仪，其特征在于，所述的二维角度调节台(9)为可以水平方向和垂直方向精密角度手动调节的装置。
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