[实用新型]一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置有效
| 申请号： | 201720691643.4 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN206902228U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张兴辉;魏晓莉;高凯雄 | 申请（专利权）人： | 兰州文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙)62201 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730010 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能有效提高靶材利用率和装置整体绝缘性的磁控溅射阴极装置，该装置包括靶座法兰，靶座法兰上固定有绝缘板，绝缘板上设置有水冷槽，水冷槽上方固定有平面靶，水冷槽下方连接电极轴，水冷槽中设置有磁芯；其中所述磁芯为单极磁芯，并采用多道并排排列。本实用新型通过增加磁芯并排数量，使靶材磁芯部位的磁场强度与靶材其他部位的磁场强度相当，避免靶材因磁场不同而造成溅射的不均匀；这不仅降低了生产成本，更重要的是大大提高了磁控溅射阴极装置的利用率（在50~70%）；在水冷槽外侧增加了绝缘片，使磁控溅射阴极装置和外界更好地绝缘，而良好的绝缘降低了打火现象，使薄膜致密度和与基底的结合力都大幅提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘性 好靶材 利用率 磁控溅射 阴极 装置 | ||
【主权项】：
一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，包括靶座法兰（7），靶座法兰（7）上固定有绝缘板（5），绝缘板5上设置有水冷槽（4）；水冷槽（4）上方固定有平面靶（1），水冷槽（4）的下方连接电极轴（9），水冷槽内设置有磁芯（3）；其特征在于：所述磁芯（3）为单极磁芯，并多道并排排列。
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