[实用新型]一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置有效
| 申请号： | 201720691643.4 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN206902228U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张兴辉;魏晓莉;高凯雄 | 申请（专利权）人： | 兰州文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙)62201 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730010 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘性 好靶材 利用率 磁控溅射 阴极 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，包括靶座法兰（7），靶座法兰（7）上固定有绝缘板（5），绝缘板5上设置有水冷槽（4）；水冷槽（4）上方固定有平面靶（1），水冷槽（4）的下方连接电极轴（9），水冷槽内设置有磁芯（3）；其特征在于：所述磁芯（3）为单极磁芯，并多道并排排列。
2.如权利要求1所述一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，其特征在于：所述磁芯（3）用七道并排排列，排列次序依次为NSNSNSN或SNSNSNS。
3.如权利要求1或2所述一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，其特征在于：所述水冷槽（4）外侧设置有绝缘片（2）。
4.如权利要求3所述一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，其特征在于：所述绝缘片（2）的厚度为2~5mm。
5.如权利要求1或2所述一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，其特征在于：所述靶座法兰（7）与电极轴（9）通过绝缘轴套（8）绝缘。
6.如权利要求1或2所述一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，其特征在于：所述靶座法兰（7）和绝缘板（5）之间用密封圈（6）密封。
7.如权利要求1或2所述一种绝缘性好靶材利用率高的磁控溅射阴极装置，其特征在于：所述绝缘板厚度在20~50mm之间。
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