[实用新型]一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置

摘要

本实用新型公开了一种用于滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置，包括固定在连接轴上的旋转平台，并在旋转平台上设置有环形钢球旋转轨道，滚动轴承钢球在该环形旋转轨道内转动；环形钢球旋转轨道的高度由旋转平台中心向外逐步升高，且相邻两个环形钢球旋转轨道的高度之差为1~3mm。旋转平台与连接轴可以垂直设置，也可以呈5~30度夹角倾斜设置。本实用新型的滚动轴承钢球在环形轨道内通过公转带动自转的方式，带动旋转平台轨道里的钢球进行磁控溅射镀氮化钛，钢球表面薄膜厚度分布较均匀；另外，本实用新型结构简单，使得氮化钛薄膜与钢球的结合力高，磨损率低，使得滚动轴承钢球的性能更加优异。

主权项

一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置，其特征在于：包括固定在连接轴（4）上的旋转平台（3），并在旋转平台（3）上设置有环形钢球旋转轨道（2），滚动轴承钢球（1）在该环形旋转轨道（2）内转动；环形钢球旋转轨道（2）的高度由旋转平台（3）中心向外逐步升高。