[实用新型]一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置有效
| 申请号: | 201720691642.X | 申请日: | 2017-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN206902230U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
| 发明(设计)人: | 张兴辉;魏晓莉;高凯雄 | 申请(专利权)人: | 兰州文理学院 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司: | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙)62201 | 代理人: | 张英荷 |
| 地址: | 730010 甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 滚动 轴承钢 磁控溅射 氮化 旋转 装置 | ||
1.一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:包括固定在连接轴(4)上的旋转平台(3),并在旋转平台(3)上设置有环形钢球旋转轨道(2),滚动轴承钢球(1)在该环形旋转轨道(2)内转动;环形钢球旋转轨道(2)的高度由旋转平台(3)中心向外逐步升高。
2.如权利要求1所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:所述环形钢球旋转轨道的高度由外向内依次递减,且相邻两个环形钢球旋转轨道的高度之差为1~3mm。
3.如权利要求1所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:所述旋转平台(3)与连接轴(4)垂直设置。
4.如权利要求1所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:所述旋转平台(3)倾斜设置。
5.如权利要求4所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:旋转平台(3)与连接轴(4)呈10~15度夹角。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州文理学院,未经兰州文理学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720691642.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种镀膜铝盒
- 下一篇:一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道
- 同类专利
- 专利分类





