[实用新型]一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置有效

专利信息
申请号: 201720691642.X 申请日: 2017-06-14
公开(公告)号: CN206902230U 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 张兴辉;魏晓莉;高凯雄 申请(专利权)人: 兰州文理学院
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06
代理公司: 兰州智和专利代理事务所(普通合伙)62201 代理人: 张英荷
地址: 730010 甘肃*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 滚动 轴承钢 磁控溅射 氮化 旋转 装置
【权利要求书】:

1.一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:包括固定在连接轴(4)上的旋转平台(3),并在旋转平台(3)上设置有环形钢球旋转轨道(2),滚动轴承钢球(1)在该环形旋转轨道(2)内转动;环形钢球旋转轨道(2)的高度由旋转平台(3)中心向外逐步升高。

2.如权利要求1所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:所述环形钢球旋转轨道的高度由外向内依次递减,且相邻两个环形钢球旋转轨道的高度之差为1~3mm。

3.如权利要求1所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:所述旋转平台(3)与连接轴(4)垂直设置。

4.如权利要求1所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:所述旋转平台(3)倾斜设置。

5.如权利要求4所述一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置,其特征在于:旋转平台(3)与连接轴(4)呈10~15度夹角。

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