[实用新型]一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置有效
申请号: | 201720672072.X | 申请日: | 2017-06-09 |
公开(公告)号: | CN207031600U | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 张志康 | 申请(专利权)人: | 江西宝群电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司44368 | 代理人: | 李永华,张广兴 |
地址: | 330000 江西省南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置,其中安全扫描装置通过螺栓固定安装与AGV车体的侧面,三色警示灯通过螺栓固定安装与AGV车体的顶部,AGV车体内部安装有伸缩轨道,机械手底座与伸缩轨道通过螺栓固定连接,并与伸缩轨道形成联动,机械手底座之上安装有机械手大手臂,机械手大手臂与机械手小手臂滑动连接,AGV车体底部还安装有坩埚托盘,辅助支撑轮安装于机械手底座底端,坩埚组件放置于坩埚托盘之上,机械手小手臂两端安装有机械手手指。本实用新型可防止坩埚由于挤压产生破裂,同时防止机械手手指和石墨加热器的干涉。 | ||
搜索关键词: | 一种 拉制 生产过程 使用 自动 投放 装置 | ||
【主权项】:
一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置,包括辅助支撑轮(1)、机械手小手臂(2)、机械手手指(3)、坩埚组件(4)、机械手大手臂(5)、机械手底座(6);其特征在于:安全扫描装置(12)通过螺栓固定安装与AGV车体(9)的侧面,三色警示灯(8)通过螺栓固定安装与AGV车体(9)的顶部,AGV车体(9)内部安装有伸缩轨道(10),机械手底座(6)与伸缩轨道(10)通过螺栓固定连接,并与伸缩轨道(10)形成联动,机械手底座(6)之上安装有机械手大手臂(5),机械手大手臂(5)与机械手小手臂(2)滑动连接,AGV车体(9)底部还安装有坩埚托盘(11),辅助支撑轮(1)安装于机械手底座(6)底端,坩埚组件(4)放置于坩埚托盘(11)之上,机械手小手臂(2)两端安装有机械手手指(3)。
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