[实用新型]一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置有效
| 申请号： | 201720672072.X | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN207031600U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张志康 | 申请（专利权）人： | 江西宝群电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司44368 | 代理人： | 李永华,张广兴 |
| 地址： | 330000 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 拉制 生产过程 使用 自动 投放 装置 | ||
1.一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置，包括辅助支撑轮(1)、机械手小手臂(2)、机械手手指(3)、坩埚组件(4)、机械手大手臂(5)、机械手底座(6)；其特征在于：安全扫描装置(12)通过螺栓固定安装与AGV车体(9)的侧面，三色警示灯(8)通过螺栓固定安装与AGV车体(9)的顶部，AGV车体(9)内部安装有伸缩轨道(10)，机械手底座(6)与伸缩轨道(10)通过螺栓固定连接，并与伸缩轨道(10)形成联动，机械手底座(6)之上安装有机械手大手臂(5)，机械手大手臂(5)与机械手小手臂(2)滑动连接，AGV车体(9)底部还安装有坩埚托盘(11)，辅助支撑轮(1)安装于机械手底座(6)底端，坩埚组件(4)放置于坩埚托盘(11)之上，机械手小手臂(2)两端安装有机械手手指(3)。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置，其特征在于：AGV车体(9)呈龙门结构。
3.根据权利要求1所述的一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置，其特征在于：机械手手指(3)是一个下部带有内勾结构的且与坩埚组件(4)外壁相吻合的圆弧状金属抱箍，并且坩埚组件(4)在机械手手指(3)的托举下从侧面往外伸出AGV车体(9)的行程为2m。
4.根据权利要求1所述的一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置，其特征在于：机械手底座(6)内部安装有二轴定位装置(7)，二轴定位装置(7)内含有工业摄像机的视觉定位系统，并且可以在水平位置进行X轴和Y轴方向的移动。
5.根据权利要求1所述的一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置，其特征在于：坩埚组件(4)包括石墨坩埚(15)、石英坩埚(13)、单晶硅原料(14)，单晶硅原料(14)盛放于石英坩埚(13)内，石英坩埚(13)放置于石墨坩埚(15)内，并且石墨坩埚(15)为三瓣埚。
6.根据权利要求1所述的一种硅棒拉制生产过程中使用的硅料自动投放装置，其特征在于：机械手手指(3)底部安装有埚托(17)，埚托(17)边缘位置设有石墨加热器(16)，并且埚托(17)外圆距离石墨加热器(16)内壁35mm。
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