[实用新型]一种单晶体硅加工用转移装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨和吸盘，所述滑轨平行设置有两个，所述滑轨的两端均固定连接于固定板，所述滑轨上滑动连接有滑套，所述滑套的底端与顶板固定连接，所述顶板的下表面通过液压杆固定连接于支架的一端，所述支架的另一端与连接板固定连接，所述连接板下表面通过弹簧连接于吸盘，所述吸盘上连接有气管，所述顶板的上表面中心处固定连接有滑块，所述滑块与丝杆螺纹连接，所述丝杆的一端连接于步进电机。本实用新型可以适应单晶硅加工件厚度的差异而造成的与吸盘间的间隙，避免转移时脱落，同时防止单晶硅加工件受到过大的压力，提高吸引效果，固定牢靠，提高转移时的安全性和效率。

主权项

一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨（3）和吸盘（13），其特征在于：所述滑轨（3）平行设置有两个，所述滑轨（3）的两端均固定连接于固定板（1），所述滑轨（3）上滑动连接有滑套（2），所述滑套（2）的底端与顶板（6）固定连接，所述顶板（6）的下表面通过液压杆（7）固定连接于支架（8）的一端，所述支架（8）的另一端与连接板（11）固定连接，所述连接板（11）下表面通过弹簧（14）连接于吸盘（13），所述吸盘（13）上连接有气管（12），所述顶板（6）的上表面中心处固定连接有滑块（10），所述滑块（10）与丝杆（9）螺纹连接，所述丝杆（9）的一端连接于步进电机（4）。